Сохтори тозакунандаи плазма

Сохтори тозакунандаи плазма аз се ҷузъи асосӣ иборат аст: агрегати идоракунӣ, камераи вакуумӣ ва насоси вакуумӣ. Биёед ин се ҷузъро муҳокима кунем:
1. Воҳиди идоракунӣ
Тозакунакҳои плазма, ки дар Чин истифода мешаванд, аз ҷумла воридот, дорои блокҳои идоракунӣ бо чор намуди асосӣ мебошанд: нима{0}}автоматӣ, пурра автоматӣ, компютер-и идорашаванда ва экрани сенсории LCD.
Воҳиди назорат боз ба ду қисмати асосӣ тақсим мешавад:
1) Таъмини барқ: Се басомади асосии таъминоти барқ ​​вуҷуд дорад: 40 кГц, 13,56 МГс ва 2,45 ГГц. Таъмини қувваи 13,56 МГс адаптери барқро талаб мекунад.
2) Шӯъбаи идоракунии система: Се намуд вуҷуд дорад: идоракунии тугма-(ним-автоматӣ ва пурра автоматӣ), идоракунии компютер ва назорати PLC (экрани сенсории LCD).
2. Палатаи вакуумӣ:
Камераҳои вакуумӣ асосан аз ду мавод сохта мешаванд:
1) Камераи вакууми аз пӯлоди зангногир.
2) камераи кварц.
3. Насоси чангкашак:
Насосҳои вакуумӣ ба ду намуд тақсим мешаванд:
1) Насоси хушк.
2) Насоси нафт.