Сохтори мошини плазма

Таҷҳизоти ICP асосан аз чор қисм иборат аст: камераи пеш аз вакуумӣ, камераи пошидан, системаи таъмини газ ва системаи вакуумӣ.

(1) Камераи пеш-вакуумӣ

Вазифаи камераи пеш аз вакуумӣ аз он иборат аст, ки камераи кандакорӣ дар сатҳи муқарраршудаи вакуум нигоҳ дошта шавад, ба муҳити беруна таъсир нарасонад (ба монанди чанг, буғи об) ва газҳои хатарнокро аз ҳуҷраи тоза ҷудо кунад. Он аз сарпӯш, манипулятор, механизми интиқол, дари изолятсия ва ғайра иборат аст.

(2) Палатаи сӯзишворӣ

Палатаи сӯзишворӣ сохтори асосии таҷҳизоти пошидани ICP мебошад. Он ба суръати кандашавӣ, амудӣ ва ноҳамворӣ таъсири мустақим дорад. Қисмҳои асосии камераи сӯзишворӣ инҳоянд: электроди болоӣ, воҳиди радиобасомади ICP, воҳиди радиобасомади РБ, системаи электроди поёнӣ, системаи назорати ҳарорат ва ғайра.

(3) Системаи таъминоти газ

Системаи таъминоти газ ин аст, ки газҳои гуногунро ба камераи сӯзишворӣ интиқол диҳад ва суръати ҷараёни газ ва ҷараёнро тавассути контролери фишор (PC) ва контролери ҷараёни оммавӣ (MFC) дақиқ назорат кунад. Системаи таъминоти газ аз шишаи манбаи газ, қубури интиқоли газ, системаи идоракунӣ, агрегати омехта ва ғайра иборат аст.

(4) Системаи вакуумӣ
Ду системаи вакуумӣ мавҷуданд, ки яке барои камераи пеш аз вакуумӣ ва дигаре барои камераи вакуумӣ. Камераи пеш-вакуумӣ бо насоси механикӣ эвакуатсия карда мешавад. Танҳо вақте ки сатҳи вакуум дар камераи пеш аз вакуум ба арзиши муқарраршуда мерасад, метавонад дари изолятсия барои интиқол додани вафли кушода шавад. Вакуум дар камераи сӯзишворӣ тавассути насоси механикӣ ва насоси молекулавӣ таъмин карда мешавад. Газҳое, ки дар натиҷаи реаксия дар камераи сӯзишворӣ ба вуҷуд меоянд, инчунин тавассути системаи вакуумӣ хориҷ карда мешаванд.