Барномаҳои мушаххаси тозакунандагони плазма

Мошинҳои тозакунии плазма / пошидани плазма тавассути ҷойгир кардани ду электрод дар як контейнери мӯҳршуда барои эҷоди майдони электрикӣ плазма тавлид мекунанд. Насоси вакуумӣ барои нигоҳ доштани сатҳи муайяни вакуум истифода мешавад. Дар баробари кам шудани газ масофаи байни молекулаҳо ва ҳаракати озоди молекулаҳо ё ионҳо низ зиёд мешавад. Дар зери таъсири майдони электр ин ионхо ба хам бархурда, плазма ба вучуд меоянд. Ин ионҳо хеле реактивӣ буда, энергияи кофӣ барои шикастани қариб ҳама пайвандҳои кимиёвӣ доранд ва дар ҳама гуна сатҳи фош реаксияҳои кимиёвиро ба вуҷуд меоранд. Плазмаҳои гуногуни газ хосиятҳои гуногуни химиявӣ доранд. Масалан, плазмаи оксиген хеле оксидкунанда буда, қодир аст оксидкунии фоторезист барои тавлиди газ ва ба ин васила ба таъсири тозакунанда ноил шавад. Плазмаи гази зангзананда анизотропии аъло дорад, ки ба талаботи охиш чавоб медихад. Табобати плазма дурахшанда ба вуҷуд меорад, аз ин рӯ разряди дурахшон номида мешавад.
Механизми тозакунии плазма пеш аз ҳама ба «фаъолшавии» зарраҳои фаъол дар плазма барои тоза кардани доғҳои рӯизаминӣ такя мекунад. Аз руи механизми реаксия тозакунии плазма умуман процесси зеринро дарбар мегирад: газхои гайриорганикй ба холати плазма барангезанда мешаванд; ба сатхи сахт моддахои газдор адсорб мешаванд; гуруххои адсорбшуда бо молекулахои сатхи сахт реаксия карда, молекулахои махсулотро ташкил медиханд; молекулаҳои маҳсулот ба марҳилаи газ таҷзия мешаванд; ва пасмондаҳои реаксия аз рӯи он хориҷ карда мешаванд.

Хусусияти муҳимтарини технологияи тозакунии плазма дар он аст, ки он метавонад ҳама гуна субстрат, аз ҷумла металлҳо, нимноқилҳо, оксидҳо ва аксари маводи полимерӣ, аз қабили полипропилен, полиэстер, полиимид, хлориди поливинил, эпоксид ва ҳатто политетрафторэтиленро коркард кунад. Он метавонад ҳам тамоми рӯи замин ва минтақаҳои мушаххас, инчунин сохторҳои мураккабро тоза кунад.