Таҷҳизоти плазмаи дохилии RF вакуумӣ
Таҷҳизоти плазмаи вакууми Inline RF як таҷҳизоти махсуси таҷҳизотест, ки барои тоза кардан ва фаъолсозии сатҳҳои тахтаҳои чопӣ, махсусан барои замимаҳои субстрати IC таҳия шудааст. Он асосан пас аз марҳилаи тасвири плёнкаи хушк ва пӯшонидани ниқоби пас{1}} истифода мешавад, ки дар он ҷо омодасозии дурусти рӯи замин барои баланд бардоштани устувории часпак ва таъмини эътимоднокии баланд дар равандҳои минбаъда муҳим аст. Тавассути татбиқи коркарди плазма дар дохили камераи вакууми назоратшаванда, система боқимондаҳои органикӣ ва ифлоскунандаҳои рӯизаминиро ба таври муассир нест карда, иҷрои умумии пайвастшавӣ ва сифати маҳсулотро беҳтар мекунад.
Тавсифи маҳсулот
Таҷҳизоти плазмаи вакууми Inline RF як таҷҳизоти махсуси таҷҳизотест, ки барои тоза кардан ва фаъолсозии сатҳҳои тахтаҳои чопӣ, махсусан барои замимаҳои субстрати IC таҳия шудааст. Он асосан пас аз марҳилаи тасвири плёнкаи хушк ва пӯшонидани ниқоби пас{1}} истифода мешавад, ки дар он ҷо омодасозии дурусти рӯи замин барои баланд бардоштани устувории часпак ва таъмини эътимоднокии баланд дар равандҳои минбаъда муҳим аст. Тавассути татбиқи коркарди плазма дар дохили камераи вакууми назоратшаванда, система боқимондаҳои органикӣ ва ифлоскунандаҳои рӯизаминиро ба таври муассир нест карда, иҷрои умумии пайвастшавӣ ва сифати маҳсулотро беҳтар мекунад.
Хусусияти фарқкунандаи ин таҷҳизот меъмории ду-камераи он мебошад. Ҳар як камера мустақилона бо насоси вакуумӣ ва генератори плазмаи РБ муҷаҳҳаз шудааст, ки ба кори мувозӣ ё истифодаи алтернативӣ имкон медиҳад. Ин на танҳо қобилияти интиқолро афзоиш медиҳад, балки чандирии амалиётро низ таъмин мекунад. Барои нигоҳ доштани устувории дарозмуддат, система як модули сардшавии пӯшидаи-ро муттаҳид мекунад, ки ҳарорати доимии кори ҳам насосҳо ва ҳам манбаъҳои плазмаро таъмин мекунад. Барои хатҳои истеҳсолие, ки автоматизатсияро талаб мекунанд, механизмҳои ихтиёрии боркунӣ ва борфарорӣ метавонанд барои кам кардани коркарди дастӣ ва осон кардани пайвасти бефосила бо таҷҳизоти болооб ва поёноб илова карда шаванд.
Ҷараёни моддӣ дар дохили система бодиққат тарҳрезӣ шудааст. Тахтаҳо ба истгоҳи воридотӣ интиқол дода мешаванд ва бо дастгоҳҳои роботӣ мустаҳкам карда мешаванд, ки баъдан субстратҳоро дар чаҳорчӯбаи зер- ҷойгир мекунанд. Платформаҳо тавассути платформаи лифт ва роликҳои рондашуда дастгирӣ карда мешаванд, тахтаҳо ба камераи вакуумӣ барои коркарди плазма интиқол дода мешаванд. Пас аз ба итмом расидани коркард, ҳамон роликҳо тахтаҳоро аз камера берун мекунанд, ки дар он ҷо грипперҳо онҳоро дубора гирифта, ба марҳилаи оянда месупоранд. Зер{5}}чорчӯба ба таври худкор байни истгоҳҳо давр мезанад ва ҷараёни кори ҳамвор ва муассирро бидуни бекористии нолозим таъмин мекунад.
Интиқоли газ инчунин барои якрангӣ оптимизатсия шудааст. Газҳои реактивӣ пеш аз ворид шудан ба камера аз даромадгоҳҳои болоӣ ва поёнӣ тавассути як коллектор пешакӣ омехта карда мешаванд, ки тақсимоти яксони плазмаро дар тамоми рӯи замин таъмин мекунанд. Ҳангоми ихроҷ, ҳавои фишурда ба камера ворид карда мешавад, то озодшавии фишорро суръат бахшад, вақти бекориро кам кунад ва самаранокии давраро беҳтар кунад. Ин системаи тозакунии плазма бо кори устувор, кори устувор ва автоматикунонии-тарҳи омодаи худ барои истеҳсоли субстрати пешрафтаи IC ҳалли хеле боэътимодро таъмин мекунад.
Садо Ояндасоз: таҷҳизоти плазмаи вакууми rf inline, Чин истеҳсолкунандагони таҷҳизоти плазмаи вакууми rf, завод
Хабарро ирсол кунед
