Таҷҳизоти плазмаи амудии IC Substrate
Таҷҳизоти амудии плазмаи IC Substrate махсус барои тоза кардани субстратҳои IC дар равандҳои анъанавии бастабандии IC тарҳрезӣ шудааст, ки зарраҳо, равғанҳо ва ифлоскунандаҳои рӯизаминиро самаранок нест мекунанд, то сатҳи баландсифат-ро барои қадамҳои минбаъдаи бастабандӣ таъмин кунанд. Система амалиёти пурра автоматикунонидашударо бо экрани сенсорӣ ва назорати PLC дастгирӣ мекунад, ки имкон медиҳад, ки идоракунии ҳамаҷонибаи параметрҳои раванд, мониторинги воқеӣ-вакт, идоракунии рецептҳо ва огоҳиҳои ҳушдор.
Тавсифи функсия
Таҷҳизоти плазмаи амудии IC Substrate махсусан барои тарҳрезӣ шудаасттоза кардани субстратҳои IC дар равандҳои анъанавии бастабандии IC, ба таври муассир тоза кардани зарраҳо, равғанҳо ва ифлоскунандаҳои рӯизаминӣ барои таъмини сатҳи баланд- барои қадамҳои минбаъдаи бастабандӣ. Система дастгирӣ мекунадкори пурра автоматй кунонда шудаастбо экрани сенсорӣ ва назорати PLC, ки имкон медиҳад идоракунии ҳамаҷонибаи параметрҳои раванд, мониторинги вақти воқеӣ, идоракунии рецептҳо ва огоҳиҳои ҳушдор-. Он устувор, боэътимод ва осон кор буда, ба талаботи баланд-дақиқӣ ва пайвастагии баланд-и равандҳои бастабандии IC ҷавобгӯ аст.
Унсурҳои асосӣ (конфигуратсия)
Клапанҳои электромагнитӣ
Сифати баланд-Клапанҳои электромагнитии бренди SVFвокуниши босуръат ва назорати устувори ҷараёни гази камераи вакуумӣ таъмин карда шавад.
Гузаришҳо ва танзимкунандагони фишор
Калидҳои фишори баланд-ва танзимкунандаҳои бренди SMCназорати дақиқи фишори вакуум ва газро таъмин намуда, иҷрои пайвастаи равандро нигоҳ медорад.
Тарҳрезии электрод
Электродҳо аз аяк судї алюминий сахти бо маркази нахӯрад, ва каналхои хунуккунй истифода мебарандсӯрохиҳои амиқ-пармашуда дар якҷоягӣ бо пардаҳои аз ҷиҳати стратегӣ ҷойгиршудаки оби хунуккуниро бо рохи муайян гузаронад. Ин ҳарорати якхелаи электродро таъмин намуда, мутобиқати коркарди плазма ва такрорпазириро беҳтар мекунад.
Барномаҳои асосӣ
Таҷҳизот асосан барои истифода бурда мешавадТоза кардани субстрат IC, назорати дақиқи муҳити плазма барои тоза кардани зарраҳои майда, қатрони боқимонда ва ифлоскунандаҳои органикӣ. Он ҳосили бастабандии IC ва мутобиқати маҳсулотро беҳтар мекунад. Система бо субстратҳои ҳаҷм ва маводҳои гуногун мувофиқ буда, ба талаботи қатъии тозагӣ ва дақиқии равандҳои саноати бастабандии электронӣ мувофиқат мекунад.
Мушаххасоти техникӣ
Сатҳи вакуум
Нигоҳ медорад20-50 Падар давоми кори муътадил, таъмини муътадили муоличаи плазма.
Усули ҷараёни газ
Истифода мебарад атарҳи патентии боло-даромадгоҳ, поён-баровардбо кафшерҳои ҷараён барои кафолат додани ҷараёни якхелаи ҳаво дар дохили камера ва натиҷаҳои пайвастаи табобат.
Системаи хунуккунӣ
Каналҳои хунуккунии электродҳо бо сӯрохиҳои амиқ-пармашуда ва пардаҳои ҷараён тарҳрезӣ шудаанд, ки обро дар роҳи муқарраршуда роҳнамоӣ мекунанд, ҳарорати якхелаи электродро таъмин мекунанд ва устуворӣ ва такрорпазирии коркарди плазмаро беҳтар мекунанд.
Арзиши ариза
Таҷҳизоти амудии плазмаи субстрати IC амаҳлули хеле самаранок, устувор ва оқилонаи тозакунии сатҳи рӯизаминӣ. Бо оптимизатсияи ҷараёни ҳавои вакуумӣ ва тарроҳии хунуккунии электрод, он ҳосили бастабандии IC ва мутобиқати маҳсулотро ба таври назаррас беҳтар мекунад ва ҳангоми кам кардани камбудиҳои раванд ва партовҳои истеҳсолӣ. Система барои кор кардан ва нигоҳдорӣ осон, самаранокии энергия- ва аз ҷиҳати экологӣ тоза буда, онро як дороии калидӣ барои истеҳсолкунандагони бастаи IC мегардонад, ки мехоҳанд маҳсулнокии баланд, таъмини сифат пайваста ва устувории равандро нигоҳ доранд.
Садо Ояндасоз: Таҷҳизоти плазмаи амудии ic substrate, Чин истеҳсолкунандагони таҷҳизоти плазмаи амудии ic, завод
Хабарро ирсол кунед
