Афзалиятҳои мошинҳои плазмакунии плазма

Дар муқоиса бо технологияҳои коркарди анъанавӣ, etchers плазма бартариҳои зеринро пешниҳод мекунанд:

1. Дақиқии баланд: Этчерҳои плазма коркарди дақиқи субмикрониро имкон медиҳанд, ки барои сохтани дастгоҳҳои мураккаби микро- имкон медиҳанд.

2. Суръати баланд: etchers плазма ба таври назаррас баланд бардоштани суръати etching, дар натиҷа самаранокии коркарди баланди.

3. Сифати баланд: Бо дақиқ назорат кардани реаксияи плазма, сифати сатҳи мавод якрангтар аст, ҳамворӣ ва якрангии рӯизаминиро ба таври назаррас беҳтар мекунад.